| 型 式 | VPU-11型 | VPU-22型 | VPU-30型 | VPU-55型 | |
| 真 空 ポ ン プ | 三相 200/220V 11kW | 三相 200/220V 22kW | 三相 200/220V 30kW | 三相 200/220V 55kW | |
| 真 空 到 達 度 | -0.096MPa ( -720㎜Hg ) | -0.096MPa ( -720㎜Hg ) | -0.096MPa ( -720㎜Hg ) | -0.096MPa ( -720㎜Hg ) | |
| 最 大 吸 引 量 | 5m³/min | 13m³/min | 18 m³/min | 35m³/min | |
| 給 水 量 | 20ℓ/min | 20ℓ/min | 20ℓ/min | 80ℓ/min | |
| 寸 法 ( mm ) | L1,200× W1,000 ×H1,170 | L1,850× W1,400 × H1,550 | L1,850× W1,400 × H1,550 | L2,250× W1,600 × H1,820 | |
| 重 量 | 700㎏ | 1,600㎏ | 1,650㎏ | 3,800㎏ | |